半導体ウェハを生産するには多関節ロボットを使用した生産が欠かせません。
そんな中でロボットによる搬送時の製品に与える異常な衝撃は製品の品質劣化となるため、大きな課題です。
そこで弊社製品の「3軸加速度センサ MA3シリーズ」は異常な衝撃が発生したことを検知することが可能ですので、ロボットに組み込んでご使用頂く例がございます。
「3軸加速度センサ MA3シリーズ」は、X、Y、Z方向の加速度をアナログ電圧の変化で出力します。出力はPLCに取り込み、しきい値を設けて判定することが出来ます。
判定結果に応じて異常をお知らせしたり、場合によっては設備を停止することも可能です。
「3軸加速度センサ MA3シリーズ」は、汎用タイプと高周波タイプの2種類あり、発生する加速度の周波数帯域によりお選びいただくことが可能です。
また、発生している加速度の大きさに応じて、計測レンジも選択いただけます。
ご興味がございましたら、簡単に評価可能な「高速3チャンネル小型無線振動記録計」をお付けいたしましたデモ機の準備をしておりますので、ご連絡を頂けますと幸いです。
