半導体ウエハ・ガラスパネル搬送時の振動状況計測

１．計測条件

使用計測器

高速3チャンネル無線振動記録計　MVP-RF3-HC

測定対象物

液晶向けガラスパネル

サイズ

約1.5m×1.9m×1.8mm

測定場所

ガラス基板中央付近にレコーダーを固定

固定方法

ガムテープ

搬送方向

Z軸方向　（パネル上下方向）

２．加速度波形（振動波形）計測データ

ウエハの動きだしから静止するまでの加速度データの計測を行いました。
高速3チャンネル無線振動記録計は、３軸の加速度センサーを内蔵しているため、３方向の加速度の値が同時に計測できます。

＜最大加速度＞

＜考察＞

1. この搬送機では、動き出しの際と停止時の加速度（振動）が大きい。
2. 搬送中は加速度が小さい。
3. 動き出しの方が加わる加速度（振動）が大きい。
4. 加速度（振動）が加わる方向はZ軸方向（パネル厚み方向）が最も大きい。
5. 最大加速度（振動）は約9.8m/sec^2 （約1.0G）

３．FFT解析

＜FFT解析条件＞

上記「加速度波形データ」のうち、「動き出し」時のデータ（0～1sec）のデータを切りだして解析しました。

＜FFT解析結果＞

＜考察＞

1. Z軸方向（パネル厚み方向）には50Hz付近にスペクトルのピークが存在します。
   →パネルの固有振動周波数か？
2. 装置の動作において、50Hz付近に周波数成分が存在すると、共振の影響で パネルが破損する可能性が高くなり、歩留が低下するものと推測されます。