高速３チャンネル小型無線振動記録計 MVP-RF3-HC
弊社の無線のモーションレコーダーシリーズは、人体動作計測分野、装置振動計測分野を中心に様々な分野でご使用いただいております。
その中から、主な事例について紹介をしていきます。
今回は、FAシステム振動計測分野での応用事例をご紹介いたします。
液晶パネルや半導体ウェハなどは次第に大型化、薄型化が図られ、搬送時に振動・衝撃等が加わった際にパネル・ウェハが破損することによる歩留低下が問題となっております。従って、装置の振動レベルを計測し、問題ないレベルがどの程度なのかを把握し、動作時にそのレベル以下を維持できるよう管理することが重要となります。
下記のグラフは、液晶パネルの搬送装置における振動計測の例となります。
振動計測には、弊社下記製品を用いております。
なおこの装置では、Z軸方向（ウェハ厚み方向）が装置動作方向となります。
上記の計測結果から、下記のようなことが読み取れます。
１．この搬送機の場合、パネルの動き出しの際の加速度が最も大きく、その大きさは約10m/sec^2（約1G）となっている。
２．振動の方向はZ軸方向（ウェハ厚み方向）が最も大きい。
→最もウェハが割れやすい方向の加速度が最も大きくなっている。
３．装置の加速時・減速時以外の加速度レベルは1m/sec^2（0.1G）以下と小さいですが、装置動作開始から約1秒後、Z軸方向の加速度が大きい部分が確認できます。
→このあたりを装置が通過する際に、ダストの影響等で振動が大きくなっているのかもしれない？
→点検を行ってみるなどの対応を検討。
弊社の製品は、無線でしかもリアルタイムで振動計測ができるので、現場で実機の状況を確認しながら、装置の動作状況を確認でき、対応もすぐに行えます。
大型の搬送装置やロボットをご使用の皆様、是非ご検討ください。
（岡田 恵也）